每日經濟新聞 2023-09-01 17:59:18
每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：小批量量產的光刻膠最多可以用于幾nm芯片生產工藝？
南大光電（300346.SZ）9月1日在投資者互動平臺表示，目前通過客戶驗證的ArF光刻膠主要應用于存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm生產工藝。
(記者 畢陸名)
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