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      晶瑞電材:目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作在有序開展中

      2023-05-08 20:38:14

      每經(jīng)AI快訊,5月8日,晶瑞電材在投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表中稱,公司i線光刻膠已向中芯國(guó)際、合肥長(zhǎng)鑫等國(guó)內(nèi)的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨;KrF光刻膠生產(chǎn)及測(cè)試線已經(jīng)建成,且KrF光刻膠部分品種已于2022年開始量產(chǎn),今年將發(fā)力拓展新客戶;公司于2020年啟動(dòng)了集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目,并于2020年下半年購(gòu)買了ASML1900 Gi型光刻機(jī)及配套設(shè)備,目前ArF高端光刻膠研發(fā)工作在有序開展中。

      責(zé)編 王瀚黎

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